Die Luftlagertische von Aerotech vereinen über 30 Jahre Wissen über Design und Produktion von hochpräziser Steuerungs- und Bewegungstechnik. Angetrieben von unseren bürstenlosen Linearmotoren eignen sich die Aerotech Luftlagertische ideal für Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Fiberoptics, Photonik und andere kritische industrielle Applikationen. Sie sind vertikal und horizontal vorgespannt; Druck sorgt dafür dass der Luftspalt in gewünschter Toleranz bleibt. Zusätzlich zu der großen Oberfläche des Tisches, die die Last auf einen großen Oberflächenbereich verteilt, zeichnet sich das Design der Tische durch eine hervorragende Steifheit aus, die ideal ist für schwere oder außermittige Lasten. Rechtlich geschützte Techniken ermöglichen die Produktion von Luftlagertischen mit unübertroffenen geometrischen Eigenschaften. Die Tische besitzen einen inhärenten Averaging-Effekt, der die Leistung maximiert. Der dünne Film füllt kleine Poren und andere Unregelmäßigkeiten auf - somit werden bessere Nick-, Roll-, Gier-, Geradheits- und Flachheitsspezifikationen erreicht.

Lineare Luftlagertische

ABL1000 Air Bearing Stage

ABL1500 Linear Motor Stage

ABL2000 Air Bearing Stage

Die ABL 1000 Serie sind die kleinsten verügbaren Luftlagertische mit der höchsten Performance. Aerotech hat über 30 Jahre Erfahrung in Präzsions-Steuerungstechnik und Positioniersystemen mit den neuesten Technologien kombiniert, um einen außergewöhnlichen Miniatur-Luftlagertisch zu produzieren.
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Der ABL1500, mit seiner aktiven Vorspannung, der außergewöhnlich hohen Steifigkeit und den exzellenten geometrischen Kenndaten wurde speziell konstruiert um diesen Anforderungen nachzukommen.

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Der ABL 2000 verbindet exzellente Nick- und Giereigenschaften mit unübertroffener Geschwindigkeitskontrolle, welche für Waferimaging, Störstellenprüfung und Beschichtungsanwendungen notwendig sind.
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Verfahrweg	≤150 mm
Genauigkeit	±0.20 µm
Wiederholbarkeit	±0.05 µm
Geradheit	±0.25 µm
Ebenheit	±0.25 µm

Verfahrweg	≤500 mm
Genauigkeit	±0.2 µm
Wiederholbarkeit	±0.1 µm
Geradheit	±0.25 µm
Ebenheit	±0.25 µm

Verfahrweg	≤1200 mm
Genauigkeit	±0.50 µm
Wiederholbarkeit	±0.20 µm
Geradheit	±0.25 µm
Ebenheit	±0.25 µm

ABL3600 Air Bearing Stage

ABL8000 Air Bearing Stage

ABL9000 Air Bearing Stage

Der Luftlagertisch ABL3600 mit Dual-/Doppelachse, großer Apertur und offenen Rahmen, spricht die besonderen Bedürfnisse der Rastermikroskopie sowie der Masken- und Wafer-Inspektion an.

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Der ABL8000 besitzt ein spezielles Design des Lagerquerschnittes, welches Steifheit und Stabilität drastisch verbessert, und ist somit für nicht zentrische Belastungen ideal geeignet.
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Der ABL9000 ist der mit der höchsten Performance verfügbare Luftlagertisch. Entwickelt um den anspruchsvollen Anforderungen in den Bereichen Wafer, Flachbildschirme und optische Qualitätsprüfung und Herstellung gerecht zu werden, setzt der ABL9000 neue Maßstäbe.
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Verfahrweg	≤250 mm
Genauigkeit	±1 µm
Wiederholbarkeit	±0.2 µm
Geradheit	±0.5 µm
Ebenheit	±1 µm

Verfahrweg	≤1000 mm
Genauigkeit	±0.50 µm
Wiederholbarkeit	±0.20 µm
Geradheit	±0.40µm
Ebenheit	±0.40µm

Verfahrweg	≤1200 mm
Genauigkeit	±0.5 µm
Wiederholbarkeit	±0.1 µm
Geradheit	±0.50µm
Ebenheit	±0.50µm

AHL9000 Linear Motor Stage

ABG10000 Air Bearing Gantry

Planar_HD Air Bearing Stage

Der AHL9000 Linearmotortisch verbindet eine luftgelagerte Scan-Achse und eine mechanisch gelagerte Step-Achse. Er wurde für anspruchsvolle Einsatzmöglichkeiten entwickelt die einer exzellenten Step and Scan performance bedürfen.

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Das ABG10000 Luftlager Gantry wurde von Aerotech entwickelt, um Ihnen herausragende Performance und Vielseitigkeit für jegliche Automatisierungsanwendung zu bieten.
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The Planar_HD air-bearing stage has been designed specifically to maximize throughput by providing up to 2 m/s scan velocity and 5 g acceleration. The design utilizes a highly engineered mechanical structure that increases air-bearing stiffness and decreases moving mass. In addition, the locations of the center of force and the center of mass have been optimized to eliminate parasitic forces that can result in throughput reducing error motions.

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Verfahrweg	≤350 mm
Genauigkeit	± 1.0 µm
Wiederholbarkeit	±0.2 µm
Geradheit	±0.6 µm
Ebenheit	±0.6 µm

Verfahrweg	≤1000 mm
Genauigkeit	± 2 µm
Wiederholbarkeit	±0.5 µm
Geradheit	±1 µm
Ebenheit	±1 µm

Travel	500 mm
Accuracy	±300 nm
Repeatability	±50 nm
Resolution	0.25 nm

Rotative Luftlagertische

ABRS Rotary Air Bearing Stage

ABRT Rotary Air Bearing Stage

Aerotech’s Rotationsluftlagertische der ABRS Serie bieten eine überragende Winkelpositionierung , Geschwindigkeitsstabilität, und Fehlerbewegung und bestechen durch ihre außergewöhnlich flache Bauweise.
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Aerotech's Rotationsluftlagertische der ABRT Serie bieten eine überragende Winkelpositionierung, Geschwindigkeitsstabilität und Fehlerbewegung zusammen mit beeindruckender Lastenkapaziät und außergewöhnlicher radialer und axialer Steifigkeit.
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Durchmesser Tabletop	128.1-278.1 mm
Auflösung	0.18-0.036 arc sec
Bidirektionale Wiederholbarkeit	<1 arc sec

Durchmesser Tabletop	100-200 mm
Auflösung	0.055-0.027 arc sec
Bidirektionale Wiederholbarkeit	<1 arc sec

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Aerotech ist Hersteller von Motion Control und Positioniersystemen.