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6-Achsen-Vakuumsystem für 10^-6 Torr
mit speziellen Fetten und TeflonkabelnT

Antrieb über Linearmotoren in X und Y-Richtung, hochpräzise, flüssigkeitsgekühlt, langer Verfahrweg

zwei hochpräzise Kardanaufhängungen mit direkt gekoppeltem Rotationsencoder für präzises Positionsfeedback

Koordinierte 6 Achsen-Simultanbewegung für Bahnen mit Splines dritten Grades