Home >> Industry Solutions >> Komponenten für die Halbleiterindustrie

The SolarScribe automation series is the most comprehensive photovoltaic panel scribing system available today. It includes both mechanical and air-bearing versions of split-axis and gantry-style systems for maximum application flexibility.

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Der MaskAlign 100 ist ein Hochleistungs-Positioniersystem zur Justage von Photomasken, entwickelt um den anspruchsvollen Anforderungen modernster Halbleiter- und Flachdisplay-Herstellungsprozessen gerecht zu werden.
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Der Wafermax T Rotationstisch ist eine exzellente Wahl bei Anwendungen, in denen hohe Leistung in einem flachen Paket gefordert werden. Ursprünglich entwickelt für die Anforderungen der präzisen Wafer-Inspektion hat sich dieser Tisch mittlerweile in einer Vielzahl verschiedener Anwendungen bewährt. Eine Standarddurchführung mit 25 mm Durchmesser erlaubt das einfache Durchführen von Schläuchen für Vakuum , wenn ein limitierter Drehbereich gegeben ist.
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Der WaferMax Z präsentiert einen signifikanten Durchbruch in der vertikalen Ausrichtung von Präzisionskomponenten in einem Gesamtpaket. Sein unübertroffener, kontaktloser Linearmotorantrieb verwendet einen Encoder als Feedbacksystem für höchste Genauigkeit.

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Der AVL1000 ist keilförmig konstruiert und an steifen Lagern montiert, damit er eine hohe Laterale- und eine hohe Umdrehungssteifigkeit erreicht. Alle Elemente des AVL1000 wurden ausgewählt um rund um die Uhr im Produktionsvorgang volle Leistung zu bringen. Im Gegensatz zu den Spindel- oder Piezzogestützten vertikalen Tischen, benötigt der AVL1000 keine Wartung und wird mehrere Jahre ohne jegliche Komplikationen funktionieren.

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Der rotative Aktuator ARA1000 eignet sich sehr gut für Applikationen mit großen Lasten. Er eliminiert die mechanische Instabilität bei Mehrachssystemen mit hohen Lastträgheitsmomenten mit Hilfe eines patentierten Designs, welches die Steifigkeit signifikant erhöht.
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Um die Systementwicklung zu vereinfachen und die Kosten zu reduzieren, produziert und integriert Aerotech hochpräzise speziell auf Kundenbedürfnisse angepasste Chucks. Sonderanfertigungen beinhalten sowohl Chucks für 200 – 300 mm Silizium Wafer als auch andere Grundlagen wie Masken und Flachdisplays

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