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| SolarScribe |
MaskAlign
100 |
WaferMax
T |
The
SolarScribe automation series is the most comprehensive
photovoltaic panel scribing system available today. It includes
both mechanical and air-bearing versions of split-axis and
gantry-style systems for maximum application flexibility.
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Der
MaskAlign 100 ist ein Hochleistungs-Positioniersystem zur Justage
von Photomasken, entwickelt um den anspruchsvollen Anforderungen
modernster Halbleiter- und Flachdisplay-Herstellungsprozessen gerecht
zu werden.
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Der
Wafermax T Rotationstisch ist eine exzellente Wahl bei Anwendungen,
in denen hohe Leistung in einem flachen Paket gefordert werden.
Ursprünglich entwickelt für die Anforderungen der
präzisen Wafer-Inspektion hat sich dieser Tisch mittlerweile
in einer Vielzahl verschiedener Anwendungen bewährt. Eine
Standarddurchführung mit 25 mm Durchmesser erlaubt das
einfache Durchführen von Schläuchen für Vakuum
, wenn ein limitierter Drehbereich gegeben ist.
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Verfahrweg |
100
mm |
Genauigkeit |
1
micron |
Last |
2
kg |
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Durchmesser |
106.7
mm |
Genauigkeit |
±5
arc sec |
Last |
40
kg |
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| WaferMax
Z |
AVL1000 vertikaler Hubtisch |
ARA1000 Rotationsaktuator |
Der WaferMax Z präsentiert einen signifikanten Durchbruch in der vertikalen Ausrichtung von Präzisionskomponenten in einem Gesamtpaket. Sein unübertroffener, kontaktloser Linearmotorantrieb verwendet einen Encoder als Feedbacksystem für höchste Genauigkeit.
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Der AVL1000 ist keilförmig konstruiert und an steifen Lagern montiert, damit er eine hohe Laterale- und eine hohe Umdrehungssteifigkeit erreicht. Alle Elemente des AVL1000 wurden ausgewählt um rund um die Uhr im Produktionsvorgang volle Leistung zu bringen. Im Gegensatz zu den Spindel- oder Piezzogestützten vertikalen Tischen, benötigt der AVL1000 keine Wartung und wird mehrere Jahre ohne jegliche Komplikationen funktionieren.
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Der
rotative Aktuator ARA1000 eignet sich sehr gut für Applikationen
mit großen Lasten. Er eliminiert die mechanische Instabilität
bei Mehrachssystemen mit hohen Lastträgheitsmomenten mit
Hilfe eines patentierten Designs, welches die Steifigkeit signifikant
erhöht.
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Verfahrweg |
5
mm |
Genauigkeit |
4
mm/s |
Last |
10
kg |
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Verfahrweg |
2
mm |
Genauigkeit |
5
mm/s |
Last |
50
kg |
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Durchmesser |
342.9
mm |
Genauigkeit |
±2
arc sec |
Last |
45
kg |
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| Wafer Chucks |
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Um die Systementwicklung zu vereinfachen und die Kosten zu reduzieren, produziert und integriert Aerotech hochpräzise speziell auf Kundenbedürfnisse angepasste Chucks. Sonderanfertigungen beinhalten sowohl Chucks für 200 – 300 mm Silizium Wafer als auch andere Grundlagen wie Masken und Flachdisplays
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