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| ATS50
Lineartisch |
ATS100
Lineartisch |
ATS115 Lineartisch |
Der
ATS50 Lineartisch bietet außerordentliche Performance in einer
äußerst kompakten Einheit. Wie die Rotationstische ART50
und ART100 eignet er sich ideal für platzkritische Applikationen
aus den Bereichen Optik und Vakuumtechnik.
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Der
ATS100 Lineartisch bietet die hohe Auflösung und Wiederholbarkeit,
die benötigt wird für Anwendungen in den Bereichen Halbleiter,
Wafertest und -herstellung, automatische Mikroskop-Prüfsysteme
und hochpräzise Mikrobearbeitungsmaschinen.
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Der ATS115 ist Aerotech’s kleinster Lineartisch mit Metallabdeckung und Seitenbändern. Der konkurrenzfähige Preis und Aerotech’s Ruf als High-quality Hersteller für Positioniertechnik, machen den ATS115 zu einem attraktiven Tisch für Medium-Performance Anwendungen.
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Verfahrweg |
50
mm |
Genauigkeit |
±2.5µm/25mm |
Belastbarkeit |
5.0
kg |
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Verfahrweg |
200
mm |
Genauigkeit |
±0.5
µm |
Belastbarkeit |
25.0
kg |
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Verfahrweg |
600
mm |
Genauigkeit |
±6
µm |
Belastbarkeit |
40.0
kg |
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| ATS150
Lineartisch |
ATS165
Lineartisch |
ATS0300
Lineartisch |
Der
ATS150 Lineartisch bietet die hohe Auflösung und Wiederholbarkeit,
die benötigt wird für Anwendungen in den Bereichen Halbleiter,
Wafertest und -herstellung, automatische Mikroskop-Prüfsysteme
und hochpräzise Mikrobearbeitungsmaschinen.
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Der ATS165 Lineartisch ist das neueste Modell für den mittleren Anwendungsbereichbereich. Die ATS165 Serie ist ähnlich aufgebaut wie die ATS115 Serie, Sie bietet aber mit ihren größeren Lagern und ihren breiten Querprofilen noch zusätziche Tragfähigkeit.
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Wo
innerhalb einer begrenzten Fläche positioniert werden soll
und Kosten eine Rolle spielen, bietet der ATS0300 die ideale Lösung.
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Verfahrweg |
250
mm |
Genauigkeit |
±1.0
µm |
Belastbarkeit |
45
kg |
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Verfahrweg |
600
mm |
Genauigkeit |
±6
µm |
Belastbarkeit |
45
kg |
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Verfahrweg |
50
mm |
Genauigkeit |
±2.5µm/25mm |
Belastbarkeit |
25.0
kg |
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| ATS1000
Lineartisch |
ATS1100-H
Lineartisch |
ATS1500
Lineartisch |
Der
ATS1000 ist ein kompakter Hochleistungstisch, der ebenso präzise
wie vielseitig ist. Er hat einen kleinen Querschnitt, nimmt mittelschwere
Lasten auf und ist mittels einer Abdeckung gegen fliegende Partikel
geschützt. Der ATS1000 ist eine kostengünstige Lösung
für Präzisionsanwendungen.
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Ein
steifer Boden und ein Hochleistungs-Servomotor prädestinieren
den ATS1100-H zu Applikationen wie Lasermaterialbearbeitung oder
Herstellung medizinischer Geräte.
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Mit
seinem flexiblen und wirtschaftlichen Design ist der ATS1500 der
ideale Mehrzweck-Positionierer.
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Verfahrweg |
600
mm |
Genauigkeit |
±1.0
µm |
Belastbarkeit |
50
kg |
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Verfahrweg |
600
mm |
Genauigkeit |
±1.0
µm |
Belastbarkeit |
70
kg |
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Verfahrweg |
300
mm |
Genauigkeit |
1.0
µm/25 mm |
Belastbarkeit |
135
kg |
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| ATS2000
Lineartisch |
ATS3600 Offener-Rahmentisch |
ATS5000
Lineartisch |
Der
ATS2000 ist ein kompakter Hochleistungs-Positioniertisch mit hartbeschichtetem
Table Top und Abdeckung.
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Der
Forderung nach einem robusten Offenen Rahmentisch mit hoher Präzision
ist mit dem ATS3600 erfüllt. Der Zweiachsen-Offene Rahmentisch
mit seinem großen Durchbruch adressiert die Anforderungen
aus den Bereichen Mikroskopie, Wafer- und Leiterplatteninspektion
und automatisierte Montage.
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Der
ATS5000 wurde für die anspruchvollsten Applikationen entwickelt.
Ein starrer Boden, versiegelte Metallabdeckungen und ein Hochleistungs-Servomotor
prädestinieren den ATS5000 für jegliche Anwendung, die
hohe Präzision erfordert wie z.B. Lasermaterialbearbeitung
oder Scribing-Prozesse an KeramikDer ATS5000 wurde für die
anspruchvollsten Applikationen entwickelt. Ein starrer Boden, versiegelte
Metallabdeckungen und ein Hochleistungs-Servomotor prädestinieren
den ATS5000 für jegliche Anwendung, die hohe Präzision
erfordert wie z.B. Lasermaterialbearbeitung oder Scribing-Prozesse
an Keramik.
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Verfahrweg |
300
mm |
Genauigkeit |
±1.0
µm |
Belastbarkeit |
80.0
kg |
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Verfahrweg |
400
mm |
Genauigkeit |
±1.0
µm |
Belastbarkeit |
90
kg |
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Verfahrweg |
1000
mm |
Genauigkeit |
±1.0
µm |
Belastbarkeit |
135
kg |
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| ATS5000WB
Lineartisch |
ATS6200
Lineartisch |
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Mit
seiner Größe kann der ATS5000WB schwere Überhanglasten
bewegen und trotzdem hochgenau positionieren.
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Der
ATS6200 Linearschlitten bietet gute Präzision zu einem guten
Preis.
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Verfahrweg |
1000
mm |
Genauigkeit |
±1.0
µm |
Belastbarkeit |
135
kg |
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Verfahrweg |
1500
mm |
Genauigkeit |
1.0
µm/ 25 mm |
Belastbarkeit |
90
kg |
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