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: Die luftgelagerten Miniaturtische der ABL 1000-Serie von Aerotech wurden für extrem hohe Leistungsanforderungen bei Ausrichtungsanwendungen in der Halbleiterproduktion sowie in der Faseroptik-, Photonik-, MEMS- und Nanotechnologie konstruiert. Neben verfügbaren Verfahrwegen von 25, 50, 100 und 150 mm beinhalten die Miniaturtische kontaktfreie und bürstenlose Linear-Servomotoren sowie lineare Encoder für einen vollständig reibungsfreien Betrieb mit Geschwindigkeiten von bis zu 300 mm/s und einer Positionierauflösung, die bei Verwendung des Steuerungssystems A3200 Digital Automation Platform lediglich 1,0 nm beträgt.

Zu allen Luftlagern von Aerotech gehört eine aktive Vorspannung auf vertikalen und horizontalen Oberflächen, und der dünne Druckfilm sorgt für die Aufrechterhaltung des Luftspalts über Lageroberflächen von maximaler Größe. Die Konstruktion bewirkt eine exzellente Steifigkeit sowie einen ausgleichenden Effekt dort, wo der dünne Film kleine Unebenheiten ausfüllt, was zu überlegenen Neigungs-, Roll-, Gier-, Geradeaus- und Ebenheitsspezifikationen führt.

Der ABL1000 verwendet bürstenlose, coggingfreie Linearmotoren mit Linearverstärkern der Serie Ndrive HL für verbesserte Stabilität und wesentliche Reduzierung des elektrischen Rauschens gegenüber PWM-Servoantrieben. Linearmotoren mit Direktantrieb haben konstruktionsbedingt eine höhere Beschleunigung und Endgeschwindigkeit als Tische mit Kugelumlaufspindelantrieb. Sie bieten außergewöhnlich ruhigen Lauf bei geringen Geschwindigkeiten sowie präzise Step- und Repeatpositionierung ohne Überschwingen oder Hysterese, dafür aber mit exzellenter Positionsstabilität. Die berührungsfreie Konstruktion besteht aus einer gelungenen Kombination aus Luftlagern und linearen Encodern und sorgt so für eine lange Lebensdauer bei geringem Wartungsbedarf.

Für sie steht eine Auswahl linearer Encoder mit einer nominalen Positioniergenauigkeit von 1 µm oder 2 µm zur Verfügung. Bei Kombination von Aerotechs HALAR-Option mit inferometerbasierter Kalibrierung jeder einzelnen Achse erreicht die Version mit einem Verfahrweg von 25 mm eine Genauigkeit von +/- 0,2 µm. Die Spezifikationen für die Wiederholbarkeit betragen +/- 50 nm, und die Geradheits-Ebenheits-Differenz beläuft sich auf 0,25 µm pro 25 mm Verfahrweg. Neigen, Rollen und Gieren erfolgt innerhalb von 25 Winkelsekunden über 25 mm. Die Tische mit Verfahrwegen von 25, 50 und 100 mm sind in der Miniaturkonstruktion des ABL 1000 auf einer Plattform mit 160 mm Breite und einer maximalen Länge von 310 mm für den Tisch mit dem längsten Verfahrweg untergebracht. Die Version mit einem Verfahrweg von 150 mm ist mit 185 mm geringfügig breiter und weist insgesamt eine Länge von 407 mm auf. Die maximale Einzellast beträgt 15 kg. Bei einem Tisch mit X-Y-Konfiguration reduziert sich diese auf 10 kg. Dank eines integrierten Kabelmanagementsystems wird die Installation vereinfacht.

Zu den Steuerungsoptionen für den ABL1000 gehört unter anderem die A3200 Automation Platform. Dabei handelt es sich um ein softwarebasiertes Maschinensteuerungssystem, das Bewegungs-, HMI-, PLC- und optische Steuermodule mit einem hochleistungsfähigen Firewire®-Standardkommunikationsnetzwerk, das eingesetzt wird, um bis zu 32 Achsen High-Speed-Motion zu steuern, kombiniert. Zusätzlich kann eine 10/100 Base T Ethernet-Schnittstelle verwendet werden, um E/A-Anschlüsse und PLCs von anderen Herstellern anzubinden.

Die A3200 kann für schnelle photonische Ausrichtungsanwendungen mit integrierten Algorithmen zur Antriebsoptimierung konfiguriert werden, die Schnittstellen zu Industriestandard entsprechenden Leistungsmessern aufweisen. Außerdem stehen integrierte optische Systeme für automatische faseroptische Produktionsabläufe oder schnelle Produkt- und Anwendungsentwicklung zur Verfügung. Aerotechs Virtual Pivot Point Software™ greift auf die Prinzipien der rückwärtigen Kinematik zurück, um Momentfehler bei mehrachsigen linearen und rotierenden Ausrichtungssystemen auszugleichen, die den Ausrichtungsprozess in der Regel verlangsamen und damit die Zeit für eine Optimierung der Antriebskonfiguration erhöhen. Gleichzeitig führt die Software während der Ausrichtung einen Ausgleichsschritt durch, um einen maximalen Produktionsdurchsatz sicherzustellen.

Um Integratoren bei der Erstellung der Systemdokumentation zu unterstützen, werden alle Standard- oder kundenspezifischen Aerotech-Systeme geliefert mit kompletter Verkabelung für Motoren und Encoder, grafische Ausdrucke über die Performance und Kalibrierung sowie einer CD, die die kompletten Verkabelungspläne beinhaltet. Zusätzlich werden alle Daten der Motorparametereinrichtung für die Systemkonfiguration geliefert, um die Inbetriebnahme so einfach wie möglich zu gestalten. Diese Zusatzmaterialien sind standardmäßig im Lieferumfang aller Aerotech-Systeme enthalten. Daneben bietet Aerotech eine komplette Produktschulung und einen umfassenden technischen Online-Support. Gemeinsam sorgen diese Faktoren für extrem wettbewerbsfähige Gesamtbetriebskosten.

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