Das für automatisierte Produktions- und Testanwendungen im Hochleistungsbereich gedachte umfassende Angebot an Positioniertischen mit langem Verfahrweg von Aerotech nutzt bürstenlose lineare Direktantriebsservomotoren und Präzisionsrückmeldesysteme, um Genauigkeit im Mikron bis Sub-Mikronbereich bei Geschwindigkeiten von bis zu 3 m/s und einer Beschleunigung bis zu 5 g zu liefern. Das komplette Angebot umfasst fünf Modelle, die auf linear geführter oder Luftlagertechnologie basieren, komplett mit Kabelmanagementsystemen für maximale Lebensdauer und minimale Wartung. Die Rückmeldesysteme beinhalten kontaktlose Linearencoder oder zweiachsige Interferometer, die zu den Auflösungen im Mikron- bis Nanometerbereich passen. Wie bei allen Aerotech-Positioniersystemen sind benutzerspezifische Konstruktionen erhältlich, bei denen Standardmodelle für die Hinzufügung von Z- und Drehachsen, Teilehandhabungsadaptern, Spezialvorrichtungen und kompletten Maschinensockelaufbauten modifiziert werden, um die Maschinensteuerungselektronik unterzubringen.
Das kostengünstige Einsteigermodell AGS1000 ist für X-Y-Positionierung von bis zu 500 mm x 500 mm mit einer kalibrierten Genauigkeit von +/- 5 μm pro Achse bei Verwendung mit Aerotech-Bewegungssteuerungen erhältlich. Die maximale Last beträgt 15 kg und die Wiederholbarkeit liegt bei nur +/- 2 μm. Das modulare System verfügt über abgedichtete linear geführte Lager und E-Chain-Kabelmanagement. Es wurde für die Verwendung bei Hochgeschwindigkeits-Pick-and-Place, automatisierter Montage, optischer Inspektion, Ausgabegeräten und hochpräziser Inspektionen entwickelt. Eine Linearmotoranordnung mit zwei Achsen an der unteren X-Achse kann einen zweiten Encoder zur Verbesserung der Steuerung und Genauigkeit umfassen. Der AGS1000 kann direkt an den Maschinensockel des Kunden geschraubt oder auf einer stabilen Aluminiumsockelplatte geliefert werden.
Für längere Verfahrwege, schwerere Last, verbesserte Genauigkeit und höhere Geschwindigkeit verwenden die Positioniersysteme AGS10000 und AGS20000 größere linear geführte Lagersysteme mit integrierten Dichtungen und Kabelmanagement. Beide Modelle können X-Y-Präzisionspositionierung im Hochleistungsbetrieb für bis zu 1000 mm x 1000 mm bei Geschwindigkeiten von bis zu 3 m/s und einer Beschleunigung von 3 g je nach Systemauflösung bieten (von 0,005 µm bis 1,0 µm, je nach Auswahl der Encoder und Vervielfacher). Mit einem linearen Antriebsmotor mit einer unteren (X) Achse bietet der AGS1000 eine Belastungsmöglichkeit von 25 kg, eine beste kalibrierte Genauigkeit von +/- 5 μm und eine Wiederholbarkeit von bis zu +/- 2μm. Der präzisionsoptimierte AGS20000 verwendet einen Antrieb mit doppelter unterer Achse und Encoder für eine Last von 30 kg und kann eine kalibrierte Genauigkeit von +/- 3 μm und eine Wiederholbarkeit von +/- 1 μm erreichen.
Für ultimative Leistung bei ultrapräziser Positionierung mit langem Verfahrweg bietet Aerotech zwei Positioniersysteme mit magnetisch vorgeladenen Luftlagern, um optimale Steifigkeit und Lastverteilung zu liefern. Sowohl die ABG10000- als auch die ABL9000-Serie werden mit linearen Direktantrieben mit zwei X-Achsen bei Standardverfahrwegen von bis zu 1000 mm x 1000 mm geliefert.
Der ABG10000 verwendet eine doppelachsige, kontaktlose Linearencoderrückmeldung, um mithilfe der HALAR-Kalibrierung von Aerotech die Leistung der Verschneidgenauigkeit des Positionierbereichs auf +/- 2 μm und die Wiederholbarkeit auf +/- 0.5 μm auszuweiten. Auf Basis der Auswahl für die nominalen Encoder von 20 μm oder 4 μm beträgt die endgültige Systemauflösung zwischen 0,005 µm und 1,0 µm. Eine maximale Belastung der Y-Achse von bis zu 9 kg ermöglicht eine angemessene Marge für Kundenvorrichtungen oder Z-, Theta-Positionierer bei Hochgeschwindigkeits-Pick-and-Place, automatisierter Montage oder Ausgabestationsanwendungen. Geschwindigkeiten von bis zu 1 m/s und eine Beschleunigung von bis zu 0,5 g sind je nach erforderlicher Systemauflösung erreichbar. Die Aerotech-Bauweise mit magnetisch vorgeladenen Luftlagern liefert ausgezeichnete Präzision bei Neigen, Gieren und Rollen. Das Positioniersystem ist daher für visuelle Inspektion und Mikrobearbeitungsanwendungen geeignet. Die ABG10000-Serie kann als modulares System für die direkte Befestigung an der Maschine des Kunden oder mit einem kundenspezifisch mitgelieferten Granitsockel oder anderen Arten von Maschinensockeln geliefert werden, die für die Unterbringung des gesamten elektronischen Subsystems gedacht sind.
Als Spitzensystem der Reihe kann das Positioniersystem der ABL9000-Serie mit Luftlagern die anspruchsvollsten Anforderungen der Hochleistungsproduktion und Testanwendungen bei Wafer- und Flachbildschirmfertigung und optischer Inspektion erfüllen und übertreffen. Mit Neigen, Gieren und Rollen innerhalb von 2 Bogensekunden und einer maximalen Last bis zu 100 kg ist kann eine Auswahl an kontaktlosen Linearencoder- (LN) oder Laserinferometer- (LZR) Rückmeldungssystemen bestellt werden, um eine Positionsgenauigkeit von unter +/- 1 μm für die Version mit einem Verfahrweg von 1000 mm x 1000 mm zu liefern. Die X-Y-Positionsauflösung mit mehrachsiger Interferometerrückmeldung beträgt zwischen 0,3 nm und 79 nm und dieses System steuert außerdem die Y-Achsenabweichung mit weniger als 1 Bogensekunde.
Für ultimative Leistung verwenden diese Tische cogginfreie, bürstenlose lineare Direktantriebsservomotoren, die durch lineare Verstärker auf dem neusten Stand der Technik für schrittweise Bewegungen im Mikronbereich angetrieben werden und die nötige Feinsteuerung für geschwindigkeitskritische Abtastanwendungen besitzen. Außerdem führen verbesserte steuerungsbasierte Funktionen wie Temperaturausgleich und Orthogonalitätskorrektur zu beispielloser Leistung bei Präzisionssystemen mit langem Verfahrweg im Hochleistungsbereich.
Um die Kundenanforderungen genau zu erfüllen sind ABL9000-Positioniersysteme mit modifizierten Verfahrweglängen, verschiedenen Kabelmanagementprogrammen, benutzerspezifischen Granitmontagen und speziellen Vorrichtungen als speziell entwickelte Lösungen erhältlich. |
Für ein hochauflösendes
Foto Klicken
Sie bitte hier.
|
United
States [Change]
