Der neue luftgelagerte Linearpositioniertisch ABL1500 von Aerotech verfügt über aktive Luftvorspannung, coggingfreie Linearservomotoren und Sub-Mikrometer-Linearencoder für Hochgeschwindigkeits - Scann- und Prüfanwendungen in den Halbleiter-, Datenspeicher-, MEMS- und anderen -Branchen, die mit hochauflösenden Mikrostrukturen arbeiten.
Die aktive Luftlager - Vorspannung wird über die gesamte, äußerst genau vorbereitete und extrem flache Lageroberfläche in außergewöhnlicher vertikaler und horizontaler Steifigkeit angewandt und ausgeglichen, um eine hervorragende Neigungs-, Gier-, Roll-, Geradheits- und Ebenheitsleistung auch unter sehr schweren Lastbedingungen zu erreichen. Da das Tischdesign so gut wie keine Reibung aufweist, ist eine praktisch unbegrenzte Lebensdauer bei minimalster Wartung möglich, was zu sehr niedrigen Gesamtbetriebskosten führt.
Mit einer nominalen Tischbreite, einschließlich integriertem Kabelmanagementsystem, von 290 mm und einer Gesamthöhe von 85 mm unterstützt die neue Serie zentrale Lasten bis 35 kg. Es gibt sechs Modelle mit Verfahrwegen im Bereich von 50 mm bis 500 mm.
Die Auswahl aus drei Linearencodertechnologien ermöglicht eine Positionierauflösung zwischen 1,0 und 0,001 Mikrometern. Die Positioniergenauigkeit über den gesamten Bereich beträgt +/-1 µm für einen Standardtisch mit einem Verfahrweg von 50 mm und bis zu +/- 0,2 µm für die HALAR-kalibrierte Version. Maximale Geschwindigkeiten von bis zu 2 m/s und eine Beschleunigung von 2 g hängen von den Anforderungen an Last und Systemauflösung ab.
Der leistungsfähige, büstenlose und coggingfreie BLMC-Linearmotor, der beim ABL1500 eingesetzt wird, hat sich bewährt und liefert außergewöhnlich ruckfreie Bewegung ohne Hysterese, bei ausgezeichneter Positionsstabilität.
Die Auswahl aus PWM- oder Linearverstärkern bietet dem Benutzer ein Leistungsprofil, das zu seiner Anwendung passt. Hochleistungsfähige Verstärker der HP-Serie von Aerotech erfüllen mit PWM Auflösungsanforderungen im Mikrometerbereich. Die Linearverstärker der HL-Serie von Aerotech bieten noch eine erheblich verbesserte Stabilität und beträchtlich verringerten Rauschpegel, die für Auflösungen im Nanometerbereich unerlässlich sind.
Linearencoder für den ABL1500 umfassen die LT-Serie mit einer Auswahl aus verstärktem Sinusausgang- oder 0,1-µm -Leitungstreiberausgang für Systemauflösungen zwischen 0,005 µm und 1,0 µm. Ultimativ hohe Auflösung liefert die verstärkte LN-Sinusencoderserie zwischen 0,001 µm und 0,2 µm Auflösung und wird normalerweise von der HALAR-Kalibrierungsoption begleitet (hochpräzises System der Linearfehlerkorrektur für beste Genauigkeit und Wiederholbarkeit). Durch Vermessung mit Laserinterferometer wird eine Korrekturtabelle erzeugt, die die Aerotech-Steuerungssoftware nutzt und für die dynamische Beibehaltung der äußerst hohen Genauigkeit während des Bewegungsprofils sorgt.
Der luftgelagerte Hochleistungstisch ABL1500 wird mit Einfach- oder in X-Y-Montagekonfigurationen mit optionaler Orthogonalität, die bis zu 2 Winkelsekunden garantiert wird, geliefert. Kabelmanagementsysteme sowohl für die Ein- als auch für die Zwei-Achsen-Versionen sind standardmäßig mit Vorrichtungen für kundeneigene Elektro-, Luft- oder sonstige Verkabelung ausgestattet. Obwohl es für jahrelangen störungsfreien Betrieb ausgelegt ist, ist das Kabelkettenmanagement die einzige ABL1500-Komponente, die sich abnutzen könnte, und das modulare Design (einschließlich Anschlüssen an beiden Kabelenden) erleichtert den problemlosen Austausch einzelner Kabel oder der gesamten Kabelkettenbaugruppe und hält damit potenzielle Ausfallzeiten äußerst gering.
Optionen für die Bewegungssteuerung der ABL1500-Serie beinhalten die softwarebasierte digitale Automatisierungsplattform A3200 für bis zu 32 Achsen synchronisierter Hochleistungs-Bewegung mit Firewire®-Schnittstelle und optional integrierten Maschinensteuerungen für HMI-, PLC- und optische Steuerungsmodule. Die A3200 nutzt die Microsoft® .NET-Entwicklungsumgebung, um den Zeitrahmen für Projektentwicklungen zu verringern und die Geräteintegration zu vereinfachen. Zu den verfügbaren Programmiersprachen gehören RS274 G-code, C, C++, VisualBasic®, Delphi, LabviewTM sowie Aerotechs eigene Sprache AEROBasic.
Die Regelungsarchitektur der A3200 liefert vollständig deterministische positions-, beschleunigungs- und zeitbasierte Bewegungsaktualisierungen für die PWM-Servoantriebe der Ndrive® HP-Serie oder die Linearverstärker der HL-Serie von Aerotech, die mit hohen Nennleistungen und bis 150 A erhältlich sind. Der Ndrive verfügt außerdem über eine zusätzliche 10/100 BaseT Ethernet-Schnittstelle, zu der E/A- und PLC-Module anderer Hersteller hinzugefügt werden können.
Alternativ für Anwendungen, die auf Ethernet-Netzwerken basieren, kann der luftgelagerte ABL1500-Tisch durch die neuen intelligenten Ensemble CP/MP/CL- (für Tischmontage) von Aerotech angetrieben und geregelt werden. Mit deterministischen, seriellen AeroNet Hochgeschwindigkeits-Netzwerkfunktionen von Aerotech für bis zu zehn Achsen kann dieser neue intelligente Antrieb nahtlos mit PWM- oder linearer Verstärkertechnologie und leistungsfähiger Bewegungsregelung kombiniert werden, um eng synchronisierte Präzisionsbewegung mit großzügiger Ergänzung durch integrierte E/A-Anschlüsse zu ermöglichen.
Aerotech kann ABL1500-Tische als Teil einer speziell entwickelten Bewegungslösung einschließlich Spezialvorrichtungen, Maschinensockel oder anderen Komponenten und Baugruppen liefern, die vom Kunden benötigt werden. Die Aerotech-Systeme sind komplett getestet und werden vollständig verkabelt mit Leistungs- und Kalibrierungsdokumenten und mit Daten zur Einrichtung der Motorparameter geliefert, die auf tatsächlichen Lastbedingungen basieren. Der Lieferumfang umfasst vollständige Produktschulung und umfassenden technischen Support vor und nach dem Kauf. |
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