Mit der offenen Rahmenbauweise zielt der ABL3600 Luftlager-X-Y-Positioniertisch mit Linearmotorantrieb von Aerotech auf Halbleiterfertigung und Tests, Elektronenmikroskopie und andere anspruchsvolle Abtast- und Positionieranwendungen, die eine große Arbeitsöffnung und perfekte Präzision erfordern. Die Spezifikationen für den Tisch mit einem Verfahrweg von 250 mm x 250 mm beinhalten kalibrierte Positionsgenauigkeit von +/- 1 Mikrometern, einen Auflösungsbereich zwischen 1 und 200 Nanometer und Verfahrgeschwindigkeiten bis 200 mm/s. Geliefert als komplett getestetes und einsatzbereites Motion-Subsystem mit einem integrierten Granitsockel und vollständigem Kabelmanagement kann der ABL3600 mit Wafer-Chucks und anderen kundenspezifischen Vorrichtungen individuell angepasst werden.
Die beim ABL3600 eingesetzte Bauweise mit vorgespannten Luftlagern extremer Steifigkeit, die über viele Produktgenerationen entwickelt und verbessert wurde, ist geschickt mit der neuesten Technologie der doppelten bürstenlosen und rastfreien Linearmotoren kombiniert, um außergewöhnlich reibungslose Abtastleistung und besondere Positionsstabilität zu garantieren. Die Kombination aus Servomotor - Direktantrieb, vorgespannten Luftlagern und hochauflösenden kontaktlosen Linearencodern bietet eine absolut reibungsfreie Mechanik ohne Zahn- oder Torsionsspiel eine erhebliche Leistungsverbesserung gegenüber traditionellen Lagerungen der mechanischen Antriebstechnik. Weitere Vorteile des kontaktlosen Designs sind u.a. praktisch keine Wartung und eine unglaublich lange Nutzungsdauer was zu sehr niedrigen Gesamtbetriebskosten solcher Anlagen beiträgt.
Andere beeindruckende Spezifikationen sind beispielsweise eine maximale horizontale Belastungsmöglichkeit von 30 kg und für jede Achse eine maximale Abweichung bei der Geradheit und Ebenheit von +/- 0,5 µm bzw. +/- 1,0 µm in 50 mm Höhe über der Tischfläche gemessen. Neigen und Rollen erfolgt innerhalb von 3 Winkelsekunden und Gieren innerhalb von 0,5 Winkelsekunden.
Aerotech bietet eine Auswahl aus PWM- und Linear - Servoreglern, um die Anwendungsanforderungen zu erfüllen. PWM bietet äußerst leistungsfähige Beschleunigung und maximale Geschwindigkeit für Anwendungen mit der strengsten Positionsstabilität sowie Achseninterpolation im Sub-Mikrometerbereich. Für allerbeste EMV-Eigenschaften sind die Aerotech - Linear - Servoregler die optimale Wahl.
Bewegungssteuerungen, die zu solchen anspruchsvollen Anwendungen passen sind u.a. die A3200-Automatisierungsplattform von Aerotech eine PC-basierte, mehrachsige, reine Software - Bewegungs- und Maschinensteuerung mit Firewire®-Schnittstelle, DSP-basierten Servoverstärkern und optional integrierten HMI-, Soft-PLC- und Vision-Steuerungsmodulen. Die vollständig deterministische Steuerung kann mithilfe des Aerotech-eigenen AEROBasic, RS274 G-code und LabviewTM programmiert werden. Alternativ können Programmierer die leistungsfähige Microsoft® .NET-Entwicklungsumgebung nutzen, um den Zeitrahmen für die Projektentwicklung mit C, C++, VisualBasic®- oder Delphi-basierter Entwicklung zu verringern.
Eine eigenständige Alternative bieten die neuen intelligenten multitasking-fähigen Ensemble - CP / - MP / - CL - Servoregler in PWM- oder Linearausführung für verteilte serielle Hochgeschwindigkeitsvernetzung von bis zu zehn synchronisierten Achsen.
Die mechanischen Systeme und Bewegungssteuerungen von Aerotech beinhalten häufig benutzerspezifische Konstruktionen zur Anpassung von Standardmodellen an spezifische Anwendungen. Zu den Modifizierungen gehören maßgeschneiderte Verfahrwege, Vorrichtungen für vom Kunden gelieferte Verkabelung und Schläuche, Lieferung von individuellen Maschinensockeln, Spezialvorrichtungen, Steuerkonsolen und schränke. Benutzerspezifische Softwarebefehle oder Programmschnittstellen sind jederzeit möglich.
Alle Systeme von Aerotech werden vollständig getestet und enthalten zertifizierte Dokumentation mit allen anwendungsspezifischen Parametern wie Servoverstärkerfaktoren und vorkonfigurierten Sicherheitseinstellungen. Aerotech bietet umfassenden technischen Support vor und nach dem Kauf, dies beinhaltet spezielle Produktschulungen die persönlich oder mithilfe internetbasierter Kurse stattfinden können. |
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