Aerotech hat vor kurzem den Abschnitt zur Vakuumvorbereitung seines technischen Referenztutorials aktualisiert und erweitert. Der Abschnitt, der online auf der Website www.aerotech.com im HTML-Format oder als PDF zum Herunterladen verfügbar ist, zeigt wichtige Designüberlegungen und Empfehlungen für hochpräzise Motion Control-Systeme für Vakuumstufen, die von geringem Vakuum (10-3 Torr), über Standard-Vakuum (10-6 Torr) bis zu hohem Vakuum (10-8 Torr) gehen.
Die Ressource zeigt die beträchtliche Erfahrung von Aerotech bei vakuumkompatiblen Präzisionsbewegungsplattformen, die die Materialauswahl, Oberflächenbearbeitung, Minimierung der Entgasung und Optimierung der Schmierung umfasst. Außerdem sind detaillierte Informationen für die Auslegung von Servomotoren und die Kontrolle magnetischer Felder für kritische Vakuumanwendungen sowie Wärmemanagementsysteme für die Ableitung von Wärme in Motoren und Lagern verfügbar.
Daneben werden Kabelmanagementsysteme mit Teflon®- und PEEK-Materialien behandelt. Der Abschnitt zur Vakuumvorbereitung dient zusammen mit der technischen Referenz von Aerotech als wertvolle Informationsquelle für Präzisionsbewegungs- und Positionierungsmechanik für automatisierte Produktions- und Inspektionssysteme mit hohem Durchsatz.
Die lange Liste der hochleistungsfähigen, vakuumkompatiblen Anwendungen von Aerotech umfasst EUV-Litographie, Elektronenmikroskopie, Ionenstrahlbearbeitung und einbau, Elektronenstrahlinspektion, Testen von Satellitenkomponenten und optisches Polieren.
Das Know-how von Aerotech wird durch umfassende Reinraum-Montageeinrichtungen unterstützt, in denen alle Teile sorgfältig von Verunreinigungen gereinigt und nach der Montage in versiegelten, partikelfreien Beuteln verpackt werden. Bei Bedarf werden einzelne Komponenten ausgebacken. Diese Maßnahmen stellen sicher, dass das Bewegungssystem vollständig betriebsbereit geliefert wird, und mit nur minimaler Verzögerung für die jeweilige Anwendung installiert werden kann. Da außerdem alle Einrichtparameter enthalten und anwendungsoptimierte Konfigurationsdateien bereits im Motion Control-System geladen sind, ist der Zeitrahmen für die Integration auf ein Minimum reduziert, was geringe Gesamtbetriebskosten für den Kunden gewährleistet.
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