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Herausgegeben January/2003

Neuer Spindelantrieb bietet höchste Präzision

Aerotech-Spindeln mit bürstenlosem Direktantrieb der Serie ASR sind ideal geeignet für Anwendungen, bei denen höchste Präzision erforderlich ist. Beispiele sind die Prüfung von Diskettenlaufwerken, Bildgebung und Präzisionsprüfung von Wafern. Hierbei ist präzise Kontrolle von Winkelpositionierung und Geschwindigkeit gefragt.

Die Spindeln der Serie ASR weisen eine außerordentliche Präzision auf. Die Welligkeit in Bezug auf Geschwindigkeit liegt bei unter 0,1%. Der Gesamtradialfehler der Achse beträgt lediglich 3mm, und der Gesamtaxialfehler lediglich 1,5mm. Der Motor und der Rotationsencoder sind direkt an eine gemeinsame Welle gekoppelt. Durch das Fehlen von Getriebezügen und mechanischen Kupplungen werden Positionsfehler durch Hysterese, Drall oder Flankenspiel vermieden.

Die mechanischen Eigenschaften solcher Hochgeschwindigkeitsspindeln sind offensichtlich der Schlüssel für ihre Funktionstüchtigkeit. Zur optimalen Korrektur von Bewegungsfehlern setzt Aerotech aufeinander abgestimmte Schräglager ein, und die Spindel ist entsprechend der strengen Norm ISO 1940 G1.0 ausgewuchtet. Außerdem ist die Spindel so ausgelegt, dass Wuchtschrauben auch bei vorhandener Nutzlast von außen zugänglich sind, sodass die Einstellung mit einer Toleranz von G4.0 bis G1.0 vorgenommen werden kann.

Hohe Beschleunigung und hohe Geschwindigkeiten werden durch die geringe inhärente Trägheit der Spindel und das hohe Drehmoment des bürstenlosen Aerotech-Motors mit Direktantrieb erzielt. Dank der bürstenlosen Ausführung ist die Spindel praktisch wartungsfrei. Außerdem bietet der Motor durch sein elektromagnetisch effizientes Design hohe Leistung bei niedrigeren Betriebstemperaturen als Konkurrenzprodukte.

Zur Abdichtung der Spindel wird ein Labyrinth verwendet, welches minimale Partikelmigration von der Spindel gewährleistet, sodass die Spindel für den Betrieb in Reinräumen (Klasse 1) klassifiziert werden kann.

Wahlweise stehen mechanische oder Vakuum-Spannvorrichtungen zur Verfügung. Zusammen mit einem der Aerotech-Servoverstärker und einem Aerotech-Bewegungscontroller wird dem Kunden somit ein komplettes integriertes Paket geboten.



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