Aerotech's WaferMax-serie van direct aangedreven positioneringstafels is verkrijgbaar in verticale versies (Z) en rotatieversies (Theta) en combineert productie met hoge doorvoersnelheid en grote precisie in een compact en laag ontwerp dat voldoet aan de strenge vereisten van rotatie-uitlijning en op focusseren gerichte toepassingen zoals inspectiesystemen voor halfgeleiders en laserbewerkingen.
De WaferMax-Z gemotoriseerde positioneringstafel met verticale beweging heeft een bewegingsbereik van 5 mm met een gegarandeerde rechtheids- en vlakheidsnauwkeurigheid van +/- 2 µm. De WaferMax-T draaitafel biedt complete rotatie over 360 graden met een gegarandeerde nauwkeurigheid van ± 5 boogseconde. Wanneer ze gecombineerd worden in toepassingen voor rotatie-uitlijning en verticaal focusseren nemen de tafels een totaaloppervlak van minder dan 210 mm x 250 mm in, met een maximale hoogte van minder dan 105 mm. Ze zijn uitstekend geschikt voor toepassingen waar de complete stapelhoogte van positioneringssystemen zo laag mogelijk gehouden dient te worden om samengestelde positioneringsfouten als gevolg van ongewenste beweging te beperken.
De WaferMax-T- en -Z-tafels hebben direct aangedrven, borstelloze en slotloze servomotoren voor een optimale positioneringsprestatie. In motorsystemen met directe aandrijving is de motor direct verbonden met de bewegende wagen en het feedback-encodersysteem zonder de speling of 'wind-up' die men aantreft in aandrijfsystemen met mechanische koppeling, zoals kogelomloopspindels of reductiekasten. Het ijzerloze motorontwerp zorgt ervoor dat er, anders dan in motoren met een ijzeren kern, absoluut geen cogging optreedt: deze buitengewoon soepele werking elimineert koppelrimpel en zorgt ervoor dat de tafel zijn lading met uitermate grote nauwkeurigheid en sterk verbeterde herhaalbaarheid positioneert. WaferMax-tafels zijn goed geschikt voor toepassingen die fijn gesynchroniseerde bewegingen tussen assen of as en sensor vereisen en waar zeer accurate incrementele stappen gecombineerd moeten worden met een precieze snelheid, zoals bij optisch lijnscannen. De directe-aandrijftechnologie maakt tevens snelle bewegingen mogelijk voor een grotere verwerkingscapaciteit, zodat onderdelen voorafgaand aan de bewerking snel vooraf gepositioneerd kunnen worden of nauwkeurige contouren met hoge snelheid kunnen worden bereikt.
De WaferMax-Z verticale tafel heeft een wig ontwerp in een laag profiel dat is gemonteerd in een voorgespannen lagersysteem met laterale stijfheidsvoorziening om hoekafwijkingen tijdens beweging tot een minimum te beperken. Het bewegingsbereik van 5 mm biedt praktisch perfecte parallelle beweging en kan zich beroepen op een indrukwekkende waarde van 20 boogseconde voor pitch, roll en yaw en een positioneringresolutie van maximaal 0,83 nm en gekalibreerde herhaalbaarheid in twee richtingen van +/ 0,3 µm. Er zijn tafelsnelheden tot 4 mm/s mogelijk bij een belasting van maximaal 10 kg met een integraal pneumatisch contragewicht.
Beide WaferMax-tafels hebben integrale motorvoedings- en feedbackaansluitingen wat de bekabeling vereenvoudigt, met gemakkelijke integratie in meerassige gestapelde lineaire systemen via een standaard kabel-loop of via een Aerotech cable management system (CMS) voor een uitermate betrouwbare oplossing.
De WaferMax-tafels kunnen zelfstandig gebruikt worden of in combinatie met andere Aerotech sub-micron-, lineaire X- en Y-tafels, samen met de bijbehorende aandrijvingen en motion-controlvoorzieningen. De gecombineerde nominale belasting voor WaferMax Z-Theta oplossingen is ongeveer 3 kg en voor toepassingen met een grotere belasting kunnen diverse opties voor verticale en draaitafels worden gebruikt. De lifttafels uit de AVL 1000-serie bijvoorbeeld hebben directe aandrijving en specificaties die vergelijkbaar zijn met die van de -Z en bieden een belasting van 50 kg met een bewegingsbereik van ten hoogste 2 mm. Aerotech's grootste draaitafel met directe aandrijving is de ADRT-serie, met specificaties die vrijwel gelijk zijn aan de -T en de mogelijkheid tot positionering van lasten tot 173 kg.
Het assortiment van Aerotech's systemen voor motion-control en automatisering omvat op software gebaseerde oplossingen voor complete machinebesturing met maximaal 32 bewegingsassen en gedecentraliseerde aandrijvingen die via een IEEE-1394 Firewire®-netwerk worden verbonden met gekoppelde machinebesturingsmodules voor HMI, PLC en Vision. Systemen worden meestal compleet geleverd en volgens de specificaties van de klant getest, met productcursussen en complete technische ondersteuning zowel voor als na aankoop. Naast motorvoedings- en encoderkabels dragen alle aan prestaties en kalibratie gerelateerde documenten en een cd met de complete set aansluitschema's bij aan een snelle systeemintegratie met de bedrijfseigen systeemdocumentatie. Tevens omvat het pakket de gegevens voor opstelling van de systeemconfiguratie inclusief parameters voor fijnafstelling van de servomotor, zodat de inbedrijfstelling van het systeem duidelijk is en weinig meer omhelst dan het aansluiten van de stroomtoevoer en het programmeren van de software. Deze eigenschappen zijn standaard voor elk Aerotech-product; hierdoor hebt u de garantie dat de échte "cost of ownership" extreem concurrerend is.
|
Klik
hier om hoge
resolutiefoto te downloaden.
|
United
States [Change]
