La Série Aerotech WaferMax de platines de positionnement à entraînement direct, disponible en versions verticales ou rotatives (thêta), allie des performances de production à grande cadence et une précision exceptionnelle dans un modèle compact de faible hauteur. Ces Platines répondent aux demandes rigoureuses de positionnement angulaire et de focalisation dans des applications telles que les systèmes de contrôle des semi-conducteurs et l'usinage laser.
L'étage de positionnement vertical WaferMax-Z a une course de 5 mm avec une planéité/rectitude certifiée de +/- 2µm. L'étage rotatif WaferMax-T tourne complètement sur 360 degrés avec une précision certifiée de ±5 secondes d'arc. Combinés pour réaliser le positionnement angulaire et l'alignement vertical, ces deux étages occupent moins de 210 mm x 250 mm pour une hauteur maximale inférieure à 105 mm. Ils conviennent idéalement aux applications où la hauteur totale des systèmes de positionnement doit être minimale pour réduire les erreurs de positionnement dues aux effets de moment angulaire.
Les étages WaferMax-T et -Z utilisent des servomoteurs sans balai, à entraînement direct avec stator lisse sans tôle, pour obtenir des performances maximales. Dans les systèmes à entraînement direct, le moteur est directement couplé au chariot ou au plateau mobile : le codeur d'asservissement ne provoque aucun jeu comme dans les transmissions par couplage mécanique telles que les vis à billes ou les boîtes de vitesses. Le moteur sans acier garantit l'absence d'à-coups, à la différence des moteurs à cage en acier ; ce fonctionnement exceptionnellement souple élimine les ondulations de couple et garantit que l'étage positionne sa charge avec une précision et une répétabilité extrêmes. Les étages WaferMax sont parfaitement adaptés aux applications qui exigent une synchronisation très étroite entre les axes et les capteurs et où des incréments très précis doivent être combinés avec une vitesse précise comme lors de la lecture optique de lignes. L'entraînement direct permet également des variations de vitesses très rapides de façon à pré-positionner les composants avant l'usinage ou à réaliser un contournage de précision à grande vitesse.
L'étage vertical WaferMax-Z repose sur un système à roulements à rouleaux croisés précontraints avec un dispositif de rigidité latérale qui minimise les écarts angulaires pendant les déplacements. La course de 5 mm est quasiment parfaitement parallèle avec une précision angulaire de 20 secondes d'arc en roulis/lacet/tangage,, une résolution de positionnement de 0.83 nm et une répétabilité bidirectionnelle étalonnée de +/- 0.3 µm. La vitesse de l'étage atteint 4 mm par seconde avec des charges allant jusqu'à 10 kg avec un contre-poids pneumatique.
L'étage rotatif WaferMax-T est équipé d'un arbre plein rectifié et de roulements à contact oblique très rigides qui offrent un excellent équilibrage, une rigidité élevée et un frottement minimal. Avec le codeur rotatif haute précision directement couplé, l'étage offre une résolution de positionnement atteignant 0.065 secondes d'arc avec l'option 10 000 lignes par tour. Un codeur 2 048 lignes est également disponible. Le plateau comporte des fixations standard pour un mandrin pour wafer. Son ouverture de 25 mm permet d'offrir une alimentation traversante ou une prise de vide ; un raccord rotatif est disponible en option pour les applications qui exigent une rotation complète combinée avec une dépression. Les spécifications de voilage (20 secondes d'arc) et d'excentricité (5 µm axiale et radiale) sont étonnantes. Les caractéristiques de vitesse maximale (400 tr/min) pour une charge axiale (3 kg) font du modèle WaferMax-T une solution de positionnement rotatif très utile.
Les deux étages WaferMax sont équipés de connecteurs moteur et codeur qui facilitent l'intégration dans des étages multi-axes empilés par un câblage en boucle ou par le système de câblage CMS d'Aerotech pour réaliser une solution très fiable.
Les étages WaferMax sont utilisables indépendamment ou avec des étages linéaires X/Y Aerotech sub-microniques associés à des variateurs et à des commandes de mouvements. La charge combinée des solutions WaferMax Z-Theta est approximativement égale à 3 kg. Pour les applications au-delà de la charge recommandée, il existe diverses options d'étages verticaux et rotatifs. Par exemple, la Série AVL 1000 à entraînement direct, dont les spécifications sont comparables au modèle -Z, accepte des charges de 50 kg sur une course verticale de 2 mm. Le plus gros étage Aerotech à entraînement direct, Série ADRT, a des spécifications similaires au modèle -T et positionne des charges atteignant 173 kg.
La gamme Aerotech de systèmes de commande de mouvements et d'automatismes comprend des solutions logicielles de commande de machines jusqu'à 32 axes avec des variateurs décentralisés, une interface réseau Firewire® IEEE-1394 et des modules fonctionnels pour des interfaces homme/machine, des automates programmables et des systèmes de vision. Les systèmes sont typiquement livrés complets et totalement testés par rapport aux spécifications du client. Des services de formation aux produits et de support avant et après vente sont également disponibles. Les câbles des moteurs et des codeurs, ainsi que la documentation relative aux performances et à l'étalonnage, sont également fournis. En outre, un CD détaille les plans de connexion pour aider les intégrateurs à réaliser leur propre documentation. De plus, toutes les données de configuration du système sont fournies, y compris les paramètres de réglage des asservissements. La mise en service immédiate se limite à connecter les câbles et à mettre l'appareil sous tension avant de programmer le logiciel d'application. Ces caractéristiques standard pour chaque produit Aerotech garantissent un véritable prix d'acquisition extrêmement compétitif.
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