Avec son ouverture centrale, la platine de positionnement X-Y Aerotech ABL3600 à coussin d'air et moteur linéaire est destinée à la fabrication et au test de semi-conducteurs, aux microscopes à balayage et aux applications de positionnement qui nécessitent une grande ouverture de travail et une précision irréprochable. Les caractéristiques du modèle de course 250 x 250 mm indiquent une précision de positionnement étalonnée de +/- 1 micron, une résolution comprise entre 1 et 200 nanomètres et des vitesses de balayage atteignant 200 mm/sec. Livré comme sous-système complètement testé et prêt à l'emploi, avec une base en granit et un système complet de gestion des câbles, la platine XY ABL3600 est personnalisable avec des fixations pour wafers ou d'autres fixations spécifiquement adaptées à l' application du client.
Son coussin d'air précontraint, très rigide et amélioré en permanence à travers de nombreuses générations précédentes de produits, est habilement associé aux plus récentes technologies des moteurs linéaires sans balai et à stator lisse pour procurer un balayage très régulier et une excellente stabilité en position. Les servomoteurs à entraînement direct, les coussins d'air précontraints et les encodeurs hautes résolutions sans contact constituent un ensemble mécanique sans frottement, sans jeu et sans hystérésis : il s'agit d'un progrès majeur par rapport aux techniques classiques des paliers et des transmissions mécaniques. Cette conception sans contact offre d'autres avantages : entretien nul et longévité exceptionnelle contribuent à abaisser remarquablement le coût total d'investissement et d'exploitation de cet appareil.
Parmi les autres caractéristiques, il convient de remarquer la charge horizontale maximale de 30 kg et, pour chaque axe, une variation maximale de rectitude et de planéité de respectivement +/- 0,5 micron et +/- 1.0 micron mesurée 50 mm au-dessus de la table. Les tolérances sur le tangage et le roulis sont inférieures à 3 secondes d'arc (0,5 seconde d'arc pour le mouvement de lacet).
Aerotech propose une gamme de servo-amplificateurs à commande linéaire ou PWM en fonction des nécessités de l'application. Avec la modulation à largeur d'impulsion (PWM), l'accélération et la vitesse sont maximales ; cependant, pour les applications ayant des contraintes de stabilité plus serrées et nécessitant une interpolation submicronique sur les axes ou la plus faible émission de bruit électrique, les amplificateurs linéaires constituent le meilleur choix.
Parmi les contrôleurs de mouvement adaptés à de telles applications, citons la plate-forme d'automatisation Aerotech A3200 : il s'agit d'un contrôleur purement logiciel sur PC pour la commande de machines et de déplacements multi-axes avec interface Firewire, de variateurs asservis à processeur DSP et, en option, de pupitres opérateur, de liaisons vers automates programmables et de modules de systèmes de vision. Ce contrôleur totalement déterministe se programme dans le langage Aerotech AEROBasic, en code G RS274 et avec LabviewTM. Les programmeurs peuvent également utiliser le puissant environnement de développement Microsoft® .NET pour réduire les temps de développement avec une programmation en C, C++, VisualBasic® ou Delphi.
Pour un fonctionnement autonome (Sans être en permanence connecté au PC), les nouveaux variateurs intelligents Ensemble CP/MP/CL d'Aerotech ,à monter sur panneaux , sont équipés d'un contrôleur mono-axe avec servo-amplificateur linéaire ou PWM permettant de se relier à un réseau série distribué haut débit de 10 axes très précisément synchronisés.
Tous les produits Aerotech sont fournis avec leur documentation complète de test et de certification, ainsi qu'avec tous les paramètres propres à l'application tels que les gains des servo-amplificateurs et les valeurs de consignes de sécurité pré-configurées. Le support technique complet avant et après-vente inclut la formation avancée aux produits sur le site du client ou par cours sur Internet. |
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