New Amplifier Designs Improve In-Position Stability 全新驅動器設計提升定位穩定性

Aerotech近期推出新款機櫃式驅動器XR3,其搭配Aerotech領先業界的A3200軟體控制器。XR3包含全新設計的驅動器:XSP3,一款脈衝寬度調變(PWM)驅動器與XSL3,一款線性驅動器。

圖一,Aerotech XR3 3U, 19吋機櫃式驅動器

性能測試

兩款驅動器均在Aerotech ABL 1500 氣浮軸承線性平台上進行性能測試。使用編碼器量測定位穩定性(in-position stability), 測試平台固定在指定位置的穩定性。新、舊款脈寬調變驅動器與線性驅動器(共四組裝置)一起測試。

ABL1500平台包含1Vpp正弦波編碼器,編碼器刻度為4um。平台由Aerotech BLMC無刷線性馬達驅動,平台安裝於花崗岩上,花崗岩安置在被動式氣浮防震系統上,由鋼管底座支撐。

圖二, Aerotech  ABL 氣浮軸承直驅式線性平台

測試結果

XSP3與XSL3 在驅動器性能遠遠超過前幾代Aerotech驅動器。在量測定位穩定性時,XSP3放大器性能優於上一代DP32010e驅動器。XSP3量測到1.5 nm的定位穩定性,而DP32010e量測到4.8 nm的定位穩定性。有趣的是,上一代線性驅動器DL4010在ABL1500平台測試,量測到2.8nm的定位穩定性。這表示Aerotech最新的脈寬調變驅動器性能比上一代的線性驅動器性能高出近兩倍。最後,測試Aerotech新款XSL3線性驅動器。新型線性驅動器量測到0.7nm的定位干擾,比DL4010性能高出4倍。

表一. 定位穩定性測試結果。 粗體線表示Aerotech新驅動技術

Amplifier

In-Position Noise

XSL3 Linear Amplifier

0.7 nm

XSP3 PWM Amplifier

1.5 nm

DL4010 Linear Amplifier

2.8 nm

DP32010e PWM Amplifier

4.5 nm

 

驅動器

定位穩定性

XSL3 線性驅動器

0.7 nm

XSP3 脈寬調變驅動器

1.5 nm

DL4010 線性驅動器

2.8 nm

DP32010e 脈寬調變驅動器

4.5 nm

圖三,,Aerotech用於XR3新款驅動器-XSP3 脈寬調變驅動器與XSL3線性驅動器

除了提升定位讀值外,與DL4010相比,XSL3也能夠降低6倍峰值功率。

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